Cámaras de proceso en vacío
TCH-340 / TCH-340T / TCH-400 / TCH-500/550D / TCH-700 / TCH-864 Yael. Hasta 400 °C, 5×10⁻⁷ Torr. Desgasificación, horneado, eliminación de disolventes en baterías de litio (NMP), dispositivos sensibles a la humedad JEDEC J-STD-033B. Compatible con sala limpia ISO 7.
AeroespacialSemiconductoresBateríasMédico
Cámaras de ensayo aeroespacial y ambiental
TCH-447 TVAC (aeroespacial, del nivel del mar al espacio, <4×10⁻⁸ Torr, ensayos continuos de 1 año). TCH-499 de altitud media (hasta 70 000 ft). TCH-495 de altitud médica (IEC 60601-1). Utilizadas por ISRO, IAI, Rafael, Elbit desde 1982.
AeroespacialDefensaMédicoFabricantes de satélites
Hornos de alto vacío
HVF-1000 / 1004 / 1006 a 1200 °C o 950 °C, 2×10⁻⁷ Torr. PID multizona, flujo de gas programable por paso. Para recocido, sinterizado, unión por difusión y posprocesamiento de grado cuántico.
CuánticoAeroespacialDefensaInvestigación de materiales
Gloveboxes de atmósfera inerte
GB-200 / 300 / 400 independientes (2 / 3 / 4 guantes), GB-450 integrado con hornos de vacío, TFDS-870 integrado con PVD. O₂/H₂O por debajo de ppm. Laboratorios de gloveboxes encadenados — Khalifa University Abu Dhabi opera un laboratorio de 8 cajas.
BateríasCuánticoMaterialesOLED
Sistemas PVD de película delgada
TFDS-462/460 versátiles de cámara única, TFDS-840/842 compactos, TFDS-847 PLD, TFDS-4600 cluster multicámara, TFDS-4500 dedicado a uniones Josephson (inclinación de 0,01°), cluster tools TFDS-5000/5500. DC / RF / DC pulsado / HiPIMS. Hasta oblea de 8″.
SemiconductoresÓpticaCuánticoIndustrial
Evaporación por haz de electrones (EVAP-X)
EVAP-4X / 6X / 8X para obleas de 4″ / 6″ / 8″. Fuente de haz de electrones Telemark + controlador 861. 6 kW, 0–10 kV. Hasta 4 fuentes térmicas para pilas híbridas metal/dieléctrico. Refrigeración activa del sustrato para lift-off.
SemiconductoresMEMSÓpticaMicroelectrónica
ALD — depósito por capas atómicas
ALD-330 Multifunción (Térmico + Plasma), ALD-340 Térmico Multicámara, ALD-350 para Polvos. Obleas de 4″–8″, 350 °C, 2–6 precursores. Óxidos superficiales en diamante NV, MEMS, células solares, paneles de visualización.
CuánticoSolarPantallasMEMS
Hornos de fusión por arco
AM-133 compacto, AM-133C con colada por succión al vacío (colada de barras de hasta 30 g+), AM-133H con bombeo secundario hasta 10⁻⁴ Torr. Hasta 3400 °C. Botones, densificación, aleaciones refractarias, investigación nuclear y de combustibles.
MaterialesNuclearAeroespacialDefensa
Sistemas de crecimiento de cristales
Bridgman, Czochralski y método de solución sólida. Para infrarrojo, materiales de óxido e investigación de baterías de litio. PC/PLC todo en uno totalmente automatizado, diseño para sala limpia, de compacto a escalable.
Investigación de materialesÓptica IRLaboratorios de cristales
Soluciones integradas y clusters
Laboratorios de extremo a extremo — del concepto a la solución en funcionamiento. Khalifa University Abu Dhabi (8 gloveboxes + 4 PVD + 1 ALD + 1 horno de vacío + elipsómetro + limpiador por plasma, 2023). Clusters multisistema con SCADA centralizado.
Laboratorio completoProducciónCuánticoInvestigación de materialesDefensa
Estaciones de detección de fugas VST
LTS-100 Mini (componentes pequeños) y LTS-200 Compact (dispositivos medianos). Basadas en la plataforma ATEQ F620. 128 programas · IP67/IP68 · 0,1–5 bar · sensibilidad de 1 Pa · cámaras personalizadas según los planos del cliente.
AutomociónMédicoElectrónicaEnvasado
Componentes de vacío
Cámaras a medida, pasamuros, válvulas, mirillas, accesorios. Normas CF/KF/ISO. Fabricados según especificación, con envío rápido. Para fabricantes y laboratorios que construyen sus propios sistemas.
Todos los usuarios de vacío
Detectores de fugas ATEQ
Software F620 · D620 · F28+ · F670LV · G620 · CDF7000 · TLC600 · WINATEQ 300. N.º 1 mundial en detección de fugas desde 1975 — más de 150 000 detectores instalados en más de 5 000 clientes de más de 40 países. VST es socio de distribución e integración en Israel.
AutomociónMédicoAeroespacialEnvasado
Elipsómetros J.A. Woollam
Elipsometría espectroscópica para espesor de película, constantes ópticas y análisis de pilas. Instrumentos de referencia en el sector. Serie M-2000. Soporte de aplicaciones incluido.
Metrología de semiconductoresÓpticaI+D
Sistemas HV/UHV Prevac
Sistemas de alto y ultra-alto vacío para uso científico e industrial, de Prevac (Polonia). Distribuidos por VST. Catálogo de productos próximamente.
InvestigaciónUHVCiencia de superficies