Chambres de procédé sous vide
TCH-340 / TCH-340T / TCH-400 / TCH-500/550D / TCH-700 / TCH-864 Yael. Jusqu'à 400 °C, 5×10⁻⁷ Torr. Dégazage, étuvage, élimination de solvant pour batteries au lithium (NMP), dispositifs sensibles à l'humidité JEDEC J-STD-033B. Compatible salle blanche ISO 7.
AérospatialeSemi-cond.BatteriesMédical
Chambres d'essai aérospatial et environnemental
TCH-447 TVAC (aérospatial, du niveau de la mer à l'espace, <4×10⁻⁸ Torr, essais continus d'un an). TCH-499 moyenne altitude (jusqu'à 70 000 ft). TCH-495 altitude médicale (IEC 60601-1). Utilisés par ISRO, IAI, Rafael, Elbit depuis 1982.
AérospatialeDéfenseMédicalOEM satellites
Fours sous vide poussé
HVF-1000 / 1004 / 1006 à 1200 °C ou 950 °C, 2×10⁻⁷ Torr. PID multi-zones, débit de gaz programmable par étape. Pour le recuit, le frittage, le collage par diffusion et le post-traitement de qualité quantique.
QuantiqueAérospatialeDéfenseRecherche matériaux
Boîtes à gants à atmosphère inerte
GB-200 / 300 / 400 autonomes (2 / 3 / 4 gants), GB-450 intégrée à des fours à vide, TFDS-870 intégrée au PVD. O₂/H₂O inférieurs au ppm. Laboratoires à boîtes à gants chaînées — Khalifa University Abu Dhabi exploite un laboratoire à 8 boîtes.
BatteriesQuantiqueMatériauxOLED
Systèmes de couches minces PVD
TFDS-462/460 polyvalents à chambre unique, TFDS-840/842 compacts, TFDS-847 PLD, TFDS-4600 cluster multi-chambres, TFDS-4500 dédié aux jonctions Josephson (inclinaison de 0,01°), équipements en cluster TFDS-5000/5500. DC / RF / DC pulsé / HiPIMS. Jusqu'à un wafer de 8″.
Semi-cond.OptiqueQuantiqueIndustriel
Évaporation par faisceau d'électrons (EVAP-X)
EVAP-4X / 6X / 8X pour wafers de 4″ / 6″ / 8″. Source à faisceau d'électrons Telemark + contrôleur 861. 6 kW, 0–10 kV. Jusqu'à 4 sources thermiques pour empilements hybrides métal/diélectrique. Refroidissement actif du substrat pour le lift-off.
Semi-cond.MEMSOptiqueMicroélectronique
ALD — dépôt par couche atomique
ALD-330 multifonction (thermique + plasma), ALD-340 thermique multi-chambres, ALD-350 pour poudres. Wafers 4″–8″, 350 °C, 2–6 précurseurs. Oxydes de surface de diamant NV, MEMS, cellules solaires, panneaux d'affichage.
QuantiqueSolaireAffichageMEMS
Fours de fusion à arc
AM-133 compact, AM-133C avec coulée par aspiration sous vide (coulée de barreaux jusqu'à 30 g+), AM-133H avec pompage secondaire jusqu'à 10⁻⁴ Torr. Jusqu'à 3400 °C. Boutons, densification, alliages réfractaires, recherche nucléaire et sur combustibles.
MatériauxNucléaireAérospatialeDéfense
Systèmes de croissance cristalline
Bridgman, Czochralski et méthode de solution solide. Pour la recherche sur l'infrarouge, les matériaux oxydes et les batteries au lithium. Solution tout-en-un PC/PLC entièrement automatisée, conception salle blanche, du compact à l'extensible.
Recherche matériauxOptique IRLaboratoires de cristaux
Solutions intégrées et clusters
Laboratoires de bout en bout — du concept à la solution opérationnelle. Khalifa University Abu Dhabi (8 boîtes à gants + 4 PVD + 1 ALD + 1 four à vide + ellipsomètre + nettoyeur plasma, 2023). Clusters multi-systèmes avec SCADA centralisé.
Laboratoire completProductionQuantiqueRecherche matériauxDéfense
Stations de test d'étanchéité VST
LTS-100 Mini (petits composants) et LTS-200 Compact (dispositifs moyens). Construites sur la plateforme ATEQ F620. 128 programmes · IP67/IP68 · 0,1–5 bar · sensibilité de 1 Pa · chambres personnalisées selon les plans du client.
AutomobileMédicalÉlectroniqueEmballage
Composants de vide
Chambres, traversées, vannes, hublots et raccords sur mesure. Normes CF/KF/ISO. Fabriqués selon les spécifications, expédiés rapidement. Pour les OEM et les laboratoires construisant leurs propres systèmes.
Tous les utilisateurs du vide
Testeurs d'étanchéité ATEQ
Logiciel F620 · D620 · F28+ · F670LV · G620 · CDF7000 · TLC600 · WINATEQ 300. N°1 mondial du test d'étanchéité depuis 1975 — plus de 150 000 testeurs installés chez plus de 5 000 clients dans plus de 40 pays. VST est le partenaire israélien de distribution + intégration.
AutomobileMédicalAérospatialeEmballage
Ellipsomètres J.A. Woollam
Ellipsométrie spectroscopique pour l'épaisseur des films, les constantes optiques et l'analyse d'empilements. Instruments de référence du secteur. Série M-2000. Support applicatif inclus.
Métrologie semi-cond.OptiqueR&D
Systèmes HV/UHV Prevac
Systèmes de vide poussé et ultra-poussé pour usage scientifique et industriel, de Prevac (Pologne). Distribués par VST. Catalogue produit bientôt disponible.
RechercheUHVScience des surfaces