VST — 여러분의 비전, 우리가 설계합니다
고진공 기술, 박막 증착, 진공 오븐, 고도 시험 챔버, 아크 용해 시스템. 1982년부터 연구소, 위성 기관, 산업 제조사를 위해 제작해 왔습니다.
1982년부터 이어온 맞춤형 진공 엔지니어링
모든 층에서 뛰어난 공정 결과를 얻었습니다. 이 장비는 고장 없이 매일 가동되고 있습니다.
대부분의 프로젝트는 세 가지 기술적 과제 중 하나로 시작됩니다. 어느 경우든 동일한 전문가 팀이 시스템의 전체 운영 수명에 걸쳐 범위를 설정하고, 설계하고, 제작하고, 지원합니다. 사양, 구성 요소, 통합은 카탈로그에서 그대로 가져오는 것이 아니라 모두 고객과 함께 결정합니다.
금속, 유전체, 유기 재료를 위한 스퍼터링, 증발, in-situ 기판 세정 시스템. 단일 챔버 구성부터 로드락과 불활성 글러브박스 통합을 갖춘 다중 챔버 클러스터 툴까지, 오염 없는 공정을 위해 구성됩니다. 높은 재현성과 자동화된 공정 제어를 위해 설계되었습니다.
고객의 프로토콜을 중심으로 제작된 공정 툴. 매일의 실험실 사용을 위해 설계되고 장기간 사용에 견디도록 제작된 진공 오븐, 아크 용해 시스템, 맞춤형 공정 챔버. 정확성을 타협하지 않으면서 다양한 연구 워크플로에 궁극의 다재다능함을 제공하도록 설계되었습니다.
위성 개발사와 항공우주 연구소가 신뢰하는 고도 시험 챔버와 열진공 우주 시뮬레이터(TVAC). 여기에 ATEQ 리크 테스터와 J.A. Woollam 엘립소미터의 매끄럽고 공인된 통합을 더해 자동화된 고정밀 시험 사이클을 제공합니다.
로드락을 갖춘 RF/DC 스퍼터링용 챔버와 기판 뒤집기 기능을 갖춘 이온 보조 e-beam 증발용 챔버를 별도로 구성한 통합 툴입니다. 콤팩트하게 설계되고 견고하게 제작되었으며, 매일의 연구 워크플로에 충분히 간단합니다. 현재 가동 중입니다.
이것들은 고객이 저희를 찾는 작업들입니다. 각 카드에는 해당 응용 분야에 투입되는 검증된 시스템 구성과 턴키 솔루션이 나열되어 있어, 여기서 바로 현장 검증된 장비로 이동하거나 아래의 전체 카탈로그를 확인할 수 있습니다.
첨단 박막 연구 및 마이크로·나노 기술 그룹을 위해 설계된 콤팩트하고 견고한 자동화 시스템. 직관적인 제어로 다중 사용자 환경에 맞게 설계되었으며, 여러 세대의 연구자에 걸쳐 높은 재현성을 제공하도록 제작되었습니다. Warsaw의 Institute of Electron Technology와 HUJI, Technion, BGU, Tel Aviv University, Bar-Ilan University의 첨단 나노 센터를 포함한 국내외 주요 거점에서 매일 사용되고 있습니다. 실시간 공정 제어를 위해 J.A. Woollam 엘립소미터와의 매끄러운 통합을 지원합니다.
엄격한 항공우주 표준을 충족하도록 설계된 고정밀 환경 시뮬레이터와 첨단 PVD 플랫폼. 저희의 TVAC 및 전용 탈기 시스템은 첨단 RGA 및 QCM 계측을 통합하여 정밀한 실시간 오염 및 아웃가싱 분석을 제공합니다. Indian Space Research Organisation (ISRO)의 맞춤형 증착 시스템을 담당한 바로 그 엔지니어링 팀이 IAI, Rafael, Elbit Systems 및 전 세계 주요 항공우주 선도 기업에 미션 크리티컬 시험 하드웨어와 정밀 코팅 솔루션을 모두 공급합니다.
첨단 리튬, 전고체, 나트륨 이온 연구가 요구하는 엄격한 수분·산소 민감 환경을 위해 제작되었습니다. 완전 자동화된 글러브박스 통합형 전극 준비 시스템과 함께, 정밀 용매 제거(NMP)를 위한 전용 TCH-500/550D 진공 오븐, 내화성 집전체 및 첨단 음극 합금 합성을 위한 고순도 아크 용해 시스템을 제공합니다. 엄격한 분위기 순도를 유지하면서 높은 정확성과 공정 재현성을 보장하도록 설계되었습니다.
고급 광학 필터, 미러, 반사 방지 코팅을 위한 완벽한 층 두께 균일성과 재현성을 제공하도록 설계되었습니다. 저희의 대표 EVAP-10X 고진공 플랫폼은 6 kW에서 12 kW 규모의 단일 또는 이중 멀티 포켓 e-beam 증발원을 지원하며, 최대 두 개의 독립적인 열 증발원을 통합할 수 있는 유연한 옵션을 제공합니다. 수냉식 챔버와 첨단 기판 가열 옵션으로 제작되어, 유성형 기판 회전, 구형 돔, 칼로트 고정구 등을 갖추고 고객의 형상에 손쉽게 맞춥니다. 복잡한 마이크로 광학 워크플로를 위해, 전용 웨이퍼 홀더는 최적화된 스텝 커버리지와 리프트오프 공정을 위해 설계된 조절 가능한 각도를 제공합니다.
정밀한 기능성, 내마모성, 배리어 코팅을 제공하는 고수율 24시간 가동을 위해 제작되었습니다. 모듈형 TFDS-4600 Compact Cluster, 전용 EVAP 생산 라인, 배치 생산 전용으로 설계된 대용량 ITDS-9000 인라인 스퍼터링 구성 중 무엇을 활용하든, 저희는 산업 규모 확장에 맞춘 턴키 시스템을 제공합니다. 저희 플랫폼은 견고한 고진공 로드락, 자동화된 로봇 핸들링, 완전한 카세트 대 카세트 이송 옵션을 통합하여 최소 사이클 타임, 엄격한 오염 제어, 뛰어난 재현성을 보장합니다.
차세대 양자 컴퓨팅과 첨단 계측을 위해 불순물을 제거하고 나노미터 이하의 계면 제어를 제공하도록 설계되었습니다. 10⁻⁸에서 10⁻⁹ Torr의 초고진공 영역 깊숙이에서 작동하는 저희의 UHV 시스템과 전용 증발 플랫폼은 큐비트 결맞음을 보호하기 위해 엄격한 저강자성 오염 기준만으로 제작됩니다. 이러한 구성은 정밀한 다각도 기판 틸트 조작과 첨단 섀도 마스킹 기능을 갖추어, Josephson junction(J-Junction)과 복잡한 초전도 박막 스택의 높은 재현성 제작은 물론 고결맞음 다이아몬드 NV 센터에 요구되는 완벽한 재료 제어에 이상적입니다.
의료 제조, 바이오테크놀로지, 제약 생산의 엄격한 규제 및 청정도 기준에 맞춤 제작되었습니다. 유연한 진단 스트립과 바이오센서의 연속 자동 처리를 위한 Yael865 릴 건조 시스템을 필두로 전문 열처리 및 수분 제거 솔루션을 제공합니다. 고진공 클린룸 탈기 오븐부터 통합 품질 관리까지, 저희 라인은 분산형 ATEQ 고속 리크 검출 장비를 갖추어 의료 기기 패키징과 상업용 부품에 대한 정밀하고 비파괴적인 압력 감쇠 및 밀봉 무결성 시험을 제공합니다.
고성능 복합재, 구조용 세라믹, 신규 나노소재를 개발하는 재료과학 연구소 및 R&D 센터를 위해 설계되었습니다. 저희의 고진공 및 저압 열처리 시스템은 산화 위험 없이 첨단 매트릭스 복합재의 아웃가싱, 탄화, 제어된 열분해에 요구되는 정확한 온도 균일성과 분위기 순도를 제공합니다. 콤팩트한 마그네트론 스퍼터링 유닛과 결합하여, 기판의 기계적·열적·전기적 특성을 변화시키는 나노 구조 코팅과 기능성 표면 개질에 대한 정밀한 제어를 제공합니다.
모든 VST 고객은 어딘가에서 시작합니다. 저희는 콤팩트한 R&D 툴과 다중 챔버 생산 클러스터에 동일한 정밀도를 구현합니다. 따라서 소프트웨어나 레시피, 팀을 바꾸지 않고도 공정을 확장할 수 있습니다.
집중된 R&D. 최대의 공정 유연성. 최소의 클린룸 설치 면적.
TFDS-462 · TFDS-842 · AM-133연속 진공 하에서 스퍼터링과 증발을 결합합니다.
TFDS-460 · TFDS-840 · TFDS-870 in glovebox클린룸을 없앱니다: 불활성 환경에서 완전한 PVD + ALD 구현.
Khalifa Univ · 연결형 글러브박스 실험실중앙 집중식 SCADA를 갖춘 완전 자동화 다중 공정 생산.
TFDS-4600 · TFDS-4500 · TFDS-5000/5500일반적인 요구를 위한 표준 구성과 표준이 맞지 않을 때를 위한 완전 맞춤 제작. 모든 시스템은 1982년 첫 박막 증착 시스템을 공급한 바로 그 팀이 설계하고 통합하며 지원합니다. 각 카드 아래의 태그는 해당 라인이 서비스하는 산업을 보여줍니다.
TCH-340 / TCH-340T / TCH-400 / TCH-500/550D / TCH-700 / TCH-864 Yael. 최대 400 °C, 5×10⁻⁷ Torr. 아웃가싱, 베이킹, 리튬 배터리 용매 제거(NMP), JEDEC J-STD-033B 수분 민감성 소자. ISO 7 클린룸 호환.
TCH-447 TVAC (항공우주, 해수면에서 우주까지, <4×10⁻⁸ Torr, 1년 연속 시험). TCH-499 중고도 (최대 70,000 ft). TCH-495 의료 고도 (IEC 60601-1). 1982년부터 ISRO, IAI, Rafael, Elbit에서 사용.
HVF-1000 / 1004 / 1006, 1200 °C 또는 950 °C, 2×10⁻⁷ Torr. 다중 존 PID, 단계별 프로그래밍 가능 가스 유량. 어닐링, 소결, 확산 접합, 양자급 후처리용.
GB-200 / 300 / 400 독립형 (2 / 3 / 4 글러브), 진공 오븐과 통합된 GB-450, PVD와 통합된 TFDS-870. ppm 이하 O₂/H₂O. 연결형 글러브박스 실험실 — Khalifa University Abu Dhabi는 8개 박스 실험실을 운영합니다.
TFDS-462/460 다목적 단일 챔버, TFDS-840/842 콤팩트, TFDS-847 PLD, TFDS-4600 다중 챔버 클러스터, TFDS-4500 전용 Josephson Junction (0.01° 틸트), TFDS-5000/5500 클러스터 툴. DC / RF / Pulsed-DC / HiPIMS. 최대 8″ 웨이퍼.
4″ / 6″ / 8″ 웨이퍼용 EVAP-4X / 6X / 8X. Telemark E-beam 소스 + 861 컨트롤러. 6 kW, 0–10 kV. 하이브리드 금속/유전체 스택을 위한 최대 4개 열 소스. 리프트오프를 위한 능동 기판 냉각.
ALD-330 다기능 (열 + 플라즈마), ALD-340 다중 챔버 열, 분말용 ALD-350. 4″–8″ 웨이퍼, 350 °C, 2–6개 전구체. NV 다이아몬드 표면 산화막, MEMS, 태양전지, 디스플레이 패널.
AM-133 콤팩트, 진공 흡입 주조를 갖춘 AM-133C (최대 30 g+ 로드 주조), 10⁻⁴ Torr까지 2차 배기를 갖춘 AM-133H. 최대 3400 °C. 버튼, 치밀화, 내화 합금, 원자력 및 연료 연구.
Bridgman, Czochralski, 고용체법. 적외선, 산화물 재료, 리튬 배터리 연구용. 완전 자동화 올인원 PC/PLC, 클린룸 설계, 콤팩트부터 확장형까지.
엔드투엔드 실험실 — 개념부터 작동하는 솔루션까지. Khalifa University Abu Dhabi (글러브박스 8개 + PVD 4개 + ALD 1개 + 진공 오븐 1개 + 엘립소미터 + 플라즈마 세정기, 2023년). 중앙 집중식 SCADA를 갖춘 다중 시스템 클러스터.
LTS-100 Mini (소형 부품) 및 LTS-200 Compact (중형 디바이스). ATEQ F620 플랫폼 기반. 128개 프로그램 · IP67/IP68 · 0.1–5 bar · 1 Pa 감도 · 고객 도면에 따른 맞춤형 챔버.
맞춤형 챔버, 피드스루, 밸브, 뷰포트, 피팅. CF/KF/ISO 표준. 사양에 맞춰 제작하고 신속하게 배송합니다. 자체 시스템을 구축하는 OEM 및 실험실용.
F620 · D620 · F28+ · F670LV · G620 · CDF7000 · TLC600 · WINATEQ 300 소프트웨어. 1975년 이래 리크 테스트 분야 세계 1위 — 40개국 이상 5,000개 이상의 고객에 150,000대 이상의 테스터 설치. VST는 이스라엘 유통 및 통합 파트너입니다.
박막 두께, 광학 상수, 스택 분석을 위한 분광 엘립소메트리. 업계 기준 장비. M-2000 시리즈. 응용 지원 포함.
과학 및 산업용 고진공 및 초고진공 시스템, Prevac (폴란드). VST 유통. 제품 카탈로그 준비 중.
VST의 자체 제어 및 데이터 플랫폼 — 레시피 편집기, 실시간 KPI 대시보드, 다년간 SQL Server 히스토리안, 그리고 저희가 공급하는 모든 TFDS, TCH, AM, ALD 및 클러스터 시스템에서 실행되는 태그 기반 아키텍처.
요구사항이 단일 장비보다 더 넓을 때, VST는 실험실 자체의 범위를 설정하고 구축하며 통합합니다. 연결형 글러브박스, PVD 및 ALD 시스템, 진공 오븐, 엘립소메트리, 플라즈마 세정 — 하나의 제어 스택에서 통합되고, 시운전되며, 운영됩니다.
Khalifa University, Abu Dhabi — 2023–2024년에 걸쳐 공급.
VST의 제품 이야기는 매일 장비를 운영하는 연구자들이 가장 잘 전합니다. 보관 중인 추천서에서 발췌한 문구입니다 — 전체 추천서는 요청 시 제공됩니다.
Buying from VST is an excellent choice — this company will provide you with a piece of great equipment for an attractive price.
Systems designed and supplied by VST have proved their value day-by-day through a continuous use with very low down-time.
Highly impressed by the proficiency, commitment, and creativity of VST's engineers.
Interactions with VST and its services have been prompt, positive, professional and extremely helpful.
공정, 목표 사양, 일정에 대한 간단한 개요를 보내주세요. 권장 구성, 대략적인 견적, 유사 설치 사례의 레퍼런스를 회신해 드립니다.
