Camere di processo sotto vuoto
TCH-340 / TCH-340T / TCH-400 / TCH-500/550D / TCH-700 / TCH-864 Yael. Fino a 400 °C, 5×10⁻⁷ Torr. Degassamento, cottura, rimozione dei solventi per batterie al litio (NMP), dispositivi sensibili all'umidità JEDEC J-STD-033B. Compatibile con camere bianche ISO 7.
AerospazioSemiconduttoriBatterieMedicale
Camere di prova aerospaziali e ambientali
TCH-447 TVAC (aerospazio, dal livello del mare allo spazio, <4×10⁻⁸ Torr, prove continue di 1 anno). TCH-499 media altitudine (fino a 70.000 ft). TCH-495 altitudine medicale (IEC 60601-1). Utilizzate da ISRO, IAI, Rafael, Elbit dal 1982.
AerospazioDifesaMedicaleOEM satellitari
Forni ad alto vuoto
HVF-1000 / 1004 / 1006 a 1200 °C o 950 °C, 2×10⁻⁷ Torr. PID multi-zona, flusso di gas programmabile per ogni fase. Per ricottura, sinterizzazione, giunzione per diffusione e post-processo di qualità quantistica.
QuantisticoAerospazioDifesaRicerca sui materiali
Glovebox ad atmosfera inerte
GB-200 / 300 / 400 standalone (2 / 3 / 4 guanti), GB-450 integrata con forni da vuoto, TFDS-870 integrata con PVD. Sub-ppm O₂/H₂O. Laboratori a glovebox concatenate — la Khalifa University di Abu Dhabi gestisce un laboratorio con 8 box.
BatterieQuantisticoMaterialiOLED
Sistemi PVD per film sottili
TFDS-462/460 versatile a camera singola, TFDS-840/842 compatto, TFDS-847 PLD, TFDS-4600 cluster multi-camera, TFDS-4500 dedicato alle giunzioni Josephson (inclinazione 0,01°), cluster tool TFDS-5000/5500. DC / RF / Pulsed-DC / HiPIMS. Fino a wafer da 8″.
SemiconduttoriOtticaQuantisticoIndustriale
Evaporazione e-beam (EVAP-X)
EVAP-4X / 6X / 8X per wafer da 4″ / 6″ / 8″. Sorgente e-beam Telemark + controller 861. 6 kW, 0–10 kV. Fino a 4 sorgenti termiche per stack ibridi metallo/dielettrico. Raffreddamento attivo del substrato per il lift-off.
SemiconduttoriMEMSOtticaMicroelettronica
ALD — deposizione a strati atomici
ALD-330 Multifunzione (termico + plasma), ALD-340 termico multi-camera, ALD-350 per polveri. Wafer da 4″–8″, 350 °C, 2–6 precursori. Ossidi superficiali per diamante NV, MEMS, celle solari, pannelli display.
QuantisticoSolareDisplayMEMS
Forni di fusione ad arco
AM-133 compatto, AM-133C con colata per aspirazione sotto vuoto (colata di barre fino a 30 g+), AM-133H con pompaggio secondario fino a 10⁻⁴ Torr. Fino a 3400 °C. Bottoni, densificazione, leghe refrattarie, ricerca nucleare e sul combustibile.
MaterialiNucleareAerospazioDifesa
Sistemi di crescita dei cristalli
Metodi Bridgman, Czochralski e a soluzione solida. Per ricerca su infrarossi, materiali ossidi e batterie al litio. PC/PLC all-in-one completamente automatizzato, progettazione per camere bianche, da compatto a scalabile.
Ricerca sui materialiOttica IRLaboratori di cristalli
Soluzioni integrate e cluster
Laboratori end-to-end — dall'idea alla soluzione funzionante. Khalifa University Abu Dhabi (8 glovebox + 4 PVD + 1 ALD + 1 forno da vuoto + ellissometro + pulitore al plasma, 2023). Cluster multi-sistema con SCADA centralizzato.
Laboratorio completoProduzioneQuantisticoRicerca sui materialiDifesa
Stazioni VST di rilevamento perdite
LTS-100 Mini (piccoli componenti) e LTS-200 Compact (dispositivi medi). Basate sulla piattaforma ATEQ F620. 128 programmi · IP67/IP68 · 0,1–5 bar · sensibilità di 1 Pa · camere personalizzate secondo i disegni del cliente.
AutomotiveMedicaleElettronicaPackaging
Componenti da vuoto
Camere su misura, passanti, valvole, oblò, raccordi. Standard CF/KF/ISO. Realizzati su specifica, spediti rapidamente. Per OEM e laboratori che costruiscono i propri sistemi.
Tutti gli utenti del vuoto
Rilevatori di perdite ATEQ
Software F620 · D620 · F28+ · F670LV · G620 · CDF7000 · TLC600 · WINATEQ 300. N.1 al mondo nel rilevamento perdite dal 1975 — oltre 150.000 rilevatori installati presso più di 5.000 clienti in oltre 40 paesi. VST è partner israeliano di distribuzione e integrazione.
AutomotiveMedicaleAerospazioPackaging
Ellissometri J.A. Woollam
Ellissometria spettroscopica per spessore dei film, costanti ottiche e analisi degli stack. Strumenti di riferimento del settore. Serie M-2000. Supporto applicativo incluso.
Metrologia semiconduttoriOtticaR&S
Sistemi HV/UHV Prevac
Sistemi ad alto e ultra-alto vuoto per uso scientifico e industriale, di Prevac (Polonia). Distribuiti da VST. Catalogo prodotti in arrivo.
RicercaUHVScienza delle superfici